電子束鍍膜機的常見故障要從它的系統組成幾個部分說起，系統主要由蒸發真空室、E型電子槍、熱蒸發電極、旋轉基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統、真空測量、電控系統及安裝機臺等部分組成。
首先說真空系統的部分，可能出現的故障有：
閥門問題，各種閥門打不開：出現各種閥門打不開的情況時，首先檢查閥門各屬器室的閥門有無關到位、氣壓是不是正常，如果上述的條件都正常但是仍舊不能工作的情況下，則應對照系統電氣原理圖檢查各執行器件供電回路是否正常，逐一進行排除。
其次是電子束鍍膜機工件轉動系統的問題：
轉速不對或者根本不轉，一般這種情況下有三種可能：
一、工作轉盤不轉動：可能原因有，機械轉動系統壞了、電機損壞、電壓不正常。這種情況下我們可以調動系統使其靈活、檢查電機繞組是否短路燒壞了、檢查電機調速器的輸出情況。
二、轉速不可調節：可能原因有，調速器給定電壓不正常以及調速器工作不正常。這種情況下我們可以檢查調速器給定電壓情況、檢查給定電位器及其外部連接是否完好、檢查調速器或更換。
三、轉速不穩定：可能原因有，機械轉動系統不平衡、電氣接觸不良、調速器參數發生變化。這種情況下我們可以檢查并轉動系統、檢查給定電機及電速器連接是否完好、檢查調速器或更換。
最后是工件烘烤系統：
一、溫度失控，恒溫不穩定：可能原因有，溫控儀工作失常、調功器輸出不能調節、熱電偶位置欠妥。這種情況下我們可以檢修更換溫控儀、檢查調功器工作情況、調整熱電偶位置。
二、跳閘：可能原因有，自身短路、絕緣降低、電阻太小。電子束鍍膜機這種情況下我們可以檢修加熱器件重新調整到正常工作、清洗蒸發物質檢查絕緣物質是否破損提高真空度、選擇較低的輸出電壓待溫度升高再提高電壓。
